製品情報

産業用真空システムの安定性を保つための原理・方法・技術を理解する


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1. 真空システムにおけるリーク検査の重要性
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真空システムは、所定の低圧を維持するために極めて高い密閉性が求められます。わずかなリークでも、表面処理、材料試験、熱処理などのプロセスに影響を与える可能性があります。正確なリーク検査を行わない場合、試験や生産の結果に誤差が生じ、装置の寿命が短くなるリスクがあります。


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2. 真空システムのリークの種類
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リークは主に2つのタイプに分類されます：
- 恒久的なリーク（Permanent Leak）：溶接不良や材料の亀裂など
- 一時的なリーク（Temporary Leak）：シールのずれ、劣化したOリング、急激な温度変化など

リークのタイプを正確に把握することで、適切な検査方法を選定することができます。


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3. 真空システムにおけるリーク検査方法
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3.1 ヘリウムリークディテクターの使用
精密産業で最も一般的な方法で、外部からヘリウムガスを吹き付け、質量分析計で内部への浸入を検出します。
- 利点：高感度、10⁻⁹ Pa・m³/sレベルの検出が可能
- 注意点：ガス管理と清浄なテスト環境が必要

3.2 バブルテスト
接続部に液体（例：石鹸水）を塗布し、圧力をかけて気泡の有無を確認します。
- 利点：簡単で低コスト
- 欠点：感度が低く、大きなリークのみに適している

3.3 圧力減衰試験（Pressure Decay Test）
システム内に圧力をかけ、時間の経過による圧力の減少を監視します。
- 利点：大型システムに適している
- 欠点：高精度な圧力測定装置が必要


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4. 検査精度に影響する要因
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- 温度：材料の膨張によりリークが一時的に発生・消失する可能性
- 表面の清浄度：油分や汚れが小さなリークを覆い隠すことがある
- シール材と材料の選定：適切なシール材の使用により一時的なリークを抑制


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5. AXXEL ENGINEERING CO., LTD. を選ぶ理由
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AXXEL ENGINEERINGは、真空装置の設計・製造だけでなく、設置・検査までのワンストップサービスを提供しています。豊富な経験と技術により、高品質かつ安定した真空システムの導入を支援します。信頼性の高いアフターサービスも特徴です。


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