製品情報

NEXIV VMZ-Sシリーズは、精密機械部品から半導体まで、幅広いサンプルに対応可能な高性能画像測定システムです。ニコンの光学技術により、μm単位の公差管理を高速かつ高精度に実現します。

NEXIV VMZ-Sシリーズは、高精度・高速寸法測定を可能にする画像測定システムです。全世界のさまざまな産業分野で必要とされる厳しい品質管理や効率化のニーズに応え、車載向け電子部品や半導体、精密機械部品、成型加工部品などの測定に対応します。ニコン独自の光学技術と先進の画像処理技術を駆使し、細部にわたる精密な測定を実現しています。

特長
高性能な電動自動ステージ: 複数のサンプルを一度に正確に測定し、測定効率を大幅に向上させます。
TTLレーザーAF: 高精度・高速での高さ測定が可能です。難しい形状も正確に検出し、途中で止まることなく連続自動測定を実施します。
多彩な照明機構: 段差や面取りのあるサンプルでも、適切なエッジを正確に検出し、安定した自動測定を可能にします。
作業者による測定ばらつきの解消: 作業者の主観や経験に左右されず、信頼性の高い検査や工程管理が実現可能です。

仕様
測定範囲: VMZ-S3020、VMZ-S4540、VMZ-S6555と多岐に渡るモデルがあり、用途に応じて選択可能。
最大許容プロービング誤差: PF2D 0.8 µm、PFV2D 0.3 µmで、高い測定精度を実現。
照明方式: 垂直落射、透過、8分割リング照明など、サンプルの特性に合わせた最適な照明条件を提供。

用途
精密機械部品: 微細な寸法の精密測定が可能。
半導体: 高密度配線パターンの測定に。
成型加工部品: 形状や寸法のバリエーションに対応。

これにより、NEXIV VMZ-Sシリーズは、様々なサンプルの測定ニーズに対応し、品質管理の精度と効率を大幅に向上させます。