製品情報

IKOのアライメントステージSA...DE/Tは、360°連続回転を実現するダイレクトドライブモータ採用。高精度・高剛性でFA・半導体装置に最適。

🔧 高精度アライメントにおける課題
ディスプレイ製造装置、レーザー加工機、検査・測定装置などの位置決め工程では、従来の回転ステージが360°の連続回転に対応していないため、構造が複雑化し、装置が大型化する問題がありました。
また、ケーブルの取り回しやバックラッシュの影響により、位置精度が低下するという課題も発生していました。

⚙️ 解決策：IKOの無限回転技術（Infinite Rotation Type）
IKOはこれらの課題を解決するため、「SAシリーズ – 無限回転タイプ（SA...DE/T）」 を開発しました。
ダイレクトドライブモータとIKO独自のクロスローラーベアリングを組み合わせることで、360°以上の連続回転（Infinite Rotation）を実現。
バックラッシュのない滑らかな動作と、マイクロラジアンレベルの位置決め精度を両立しています。

💡 製品概要：SA...DE/T 回転ステージ
SA...DE/T はθ軸ステージで、線形ステージ SA...DE/X と組み合わせることでXYθコンパクトアライメントステージを構成可能です。
全閉ループエンコーダシステム（最大14,400 pulse/degree）を搭載し、最高720°/sの高速回転に対応。
位置決め精度は±0.5 arc-secを達成し、省スペースで高精度なアライメントを実現します。

🌟 主な特長
- 360°以上の連続回転が可能（無限回転タイプ）
- ダイレクトドライブモータ駆動でバックラッシュを排除
- クロスローラーベアリング搭載による高剛性・高精度
- 薄型・コンパクト設計（Low Profile Design）
- フルクローズドループ制御で高速応答（最大720°/s）
- ±0.5 arc-secの位置決め精度を実現

🧭 主な用途
- 液晶・OLEDディスプレイ製造装置
- レーザーマーキング・表面処理装置
- ビジョン検査・計測システム
- 精密部品組立や半導体搬送装置

📥 詳細情報やカタログのダウンロードは、下記よりお問い合わせください。

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📘 用語集 (Glossary)
- アライメントステージ: X・Y・θ軸方向の精密位置決めが可能なテーブルステージ
- ダイレクトドライブモータ: ギアやベルトを介さず直接駆動するモータ方式。高応答・高精度が特長
- 無限回転（Infinite Rotation）: 360°を超える連続回転を可能にする機構
- クロスローラーベアリング: 90°に交差配置したローラーで多方向荷重を支持する高剛性ベアリング

📚 参考文献
- Nippon Thompson Co., Ltd. “CAT-2997 SA Series Alignment Stage (Infinite Rotation Type),” 2025年9月
- 【Reference: ISO 9001 / ISO 14001 認証システム】


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