製品情報

IKOアライメントステージSAシリーズは、Cルーブリニアウェイとクロスローラベアリングを採用した低断面でコンパクトなステージです。XYθ運動による高精度な位置決めを実現します。

■ 特長
高精度XYθ運動：リニアモータとダイレクトドライブモータにより、XY軸とθ軸での滑らかで高精度な位置決めが可能。
高分解能リニアエンコーダ：分解能0.1μmと0.5μmの選択肢があり、用途に応じた最適な精度を実現。
フルクローズドループ制御：バックラッシがなく、安定した高精度の位置決め動作を実現。
低断面・コンパクト設計：クロスローラベアリングによる高剛性とCルーブ技術によるメンテナンスフリーを実現し、クリーン環境にも対応。
モジュール化による組み合わせ自由度：X軸とθ軸の組み合わせやXY軸アライメントテーブルを簡単に構築可能。

■ 仕様
駆動方式：リニアモータ（XY軸）、ダイレクトドライブモータ（θ軸）
案内機構：CルーブリニアウェイL（直線）、クロスローラベアリング（回転）
分解能：0.1μm、0.5μmの2種類
制御方式：フルクローズドループ制御
適用環境：半導体製造、液晶関連装置、クリーンルーム対応

アライメントステージSAシリーズは、クリーンな環境と精密な位置決めが求められる産業用途に最適で、組み合わせの自由度が高い位置決めシステムです。

詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問合せください。

IKO THOMPSON ASIAの対応国
タイ：バンコクを拠点に、チョンブリー、アユタヤ、サムットプラーカーンなど全域
シンガポール
マレーシア：クアラルンプール、ペナンなど全域
インドネシア：ジャカルタなど全域
ベトナム：ホーチミン、ハノイなど全域
インド